講了那么久空氣過濾器都有點膩了，那么今天來給大家講講前面主要講的“高效過濾器(HEPA)”主要應(yīng)用的“無塵車間”。

無塵車間的主要作用為控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個環(huán)境良好的空間中制造、生產(chǎn)，這種空間稱之為無塵車間。



按照國際慣例根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定無塵凈化級別，那么也就是說所謂的無塵并不是說一點灰塵都沒有，而是把空氣中的粒子控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中的顆粒不是我們常見灰塵，已經(jīng)是相對于前者小的微乎其微顆粒。

但是對于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生相當(dāng)大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵車間級別會要求的非常高。 　

控制每立方米粒徑小于0.3微米的微塵數(shù)量在3500個以內(nèi)的無塵空間，就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。而應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵車間的無塵標(biāo)準(zhǔn)要高于A級。

無塵車間將5μm及以下的微塵數(shù)量嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi)就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別，一些等級較高芯片生產(chǎn)主要應(yīng)用這樣的高標(biāo)車間。